شبیه سازی و طراحی تشدیدگر میکروالکترومکانیکی با تیر دو سر ثابت

تشدیدگر میکروالکترومکانیکی قطعه ی نوسانگر بسیار کوچکی است که قابلیت مجتمع سازی با مدارهای cmos را دارا می باشد. این قطعه با داشتن ضریب کیفیت بزرگ، مصرف توان اندک و ضریب دمایی فرکانس مناسب، جایگرین مناسبی برای تانک های lc داخل تراشه که مجتمع می شوند اما ضریب کیفیت کوچک دارند وکریستال کوارتز که ضریب کیفیت بزرگ دارد اما مجتمع نمی شود در نوسان سازها و فیلترها می باشند. در این پایان نامه، یک تشدیدگر میکروالکترومکانیکی شبیه سازی شد و تاثیر اندازه ها و پارامترهای دیگر قطعه بر خروجی های آن از قبیل: فرکانس تشدید، ولتاژ شکست و جریان خروجی مورد بحث و بررسی قرار گرفت. با استفاده از نتیجه های شبیه سازی، یک تشدیدگر دوسرثابت 16 مگاهرتزی با استفاده از مواد پلی سیلیکن ،کربن (بی شکل) و دی اکسید سیلیکن طراحی شد. در این طراحی تشدیدگرکربن کمترین درازا را با مقدار ?m 1/24 و تشدیدگر دی اکسید سیلیکن کمترین حساسیت دمایی را با مقدار ppm?? 15- دارا بود. بیشترین اندازه ضریب کیفیت مربوط به تشدیدگر پلی سیلیکن با مقدار 1850 بدست آمد. جهت افزایش ضریب کیفیت ترموالاستیک، شکاف هایی عمود بر راستای نوسان تیر در تیر ایجاد شد تا به کمک آن ها از تزویج مد گرمایی به مد مکانیکی جلوگیری شود. مکان شکاف ها بیشتر در جایی است که تیر بیشترین کرنش را دارد، با بلندتر شدن درازای تیر، ایجاد شکاف در مکان هایی که کرنش زیاد نیست موجب افزایش ضریب کیفیت ترموالاستیک می شود.